PSUは「プロセスシミュレーターU」の略称で半導体製造プロセス学習用電子教材です。
・「プロセスシミュレーターU」は半導体製造(前工程)の概念をCMOSプロセス簡易版を使い、100スライドで学習します。
・CMOS簡易版のプロセスフローは、11の形成工程、69のプロセス、147の処理ステップになっており、ウェハーがプロセスバー上のプロセスNo.を順次移動し、処理済のトランジスタ断面図を表示します 。
・PA(パーキングエリア)は完了工程のトランジスタ断面図と回路素子、顕微鏡イメージの回路パターンを学習します。
・形成工程の開始は、自家用車が完了工程の回路パターンを積んで現れ、開始工程の処理内容が表示されます。
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